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电脑芯片光刻机上用的吸尘机

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发表时间:2020-08-13 10:35

电脑芯片光刻机上用的吸尘机

上海今钧简介

上海今钧机电工程有限公司是一家致力于自动化表面除尘除静电设备的新型高科技企业。为多家公司设计安装过流水线静电除尘机。在除尘领域10多年,不断学习,并且引进德国先进除尘技术,助力中国企业绿色环保、高效除尘。

详情介绍

芯片光刻机是制造芯片的核心装备。它采用类似照片冲印的技术,把掩膜版上的精细图形通过光线的曝光印制到硅片上。制造高精度的对准系统需要具有近乎完美的精密机械工艺

影响光刻机精度的原因有很多,比如间隙零件精度都有很大关系,其中容易被忽略的一个原因还有光刻机表面清洁原因,光刻机上有切割掉的碎屑或灰尘都会影响芯片切割的精度,所以光刻机上面需要增加除尘设备来保证切割的精度!

芯片光刻机上用的除尘设备介绍

此设备是上海今钧设计研发的一款可以安装在光刻机上的除尘设备,我公司与国内多家半导体公司有合作经验,成功在多种规格的光刻机上得到应用,受到客户一致好评。我公司常用两种除尘设备应用于光刻机上下面简单介绍一下。

第一种:毛刷清洁静电消除吸尘设备,此设备的工作原理为静电棒消除静电减少静电吸附力,毛刷清洁刷除灰尘和颗粒,再经过高负压工业吸尘机把灰尘颗粒吸到集尘箱,操作完成!

第二种:强吹静电除尘设备:此设备工作原理为先静电消除再通过高速旋转喷头把灰尘颗粒吹除并扬起,再使用高负压工业吸尘机把灰尘颗粒吸到集尘箱,操作完成!

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